[发明专利]相位式探针感测结构无效
| 申请号： | 200710000934.5 | 申请日： | 2007-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN101226047A | 公开（公告）日： | 2008-07-23 |
| 发明（设计）人： | 吴乾埼;许正治;翁汉甫;林志明 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01B7/012 | 分类号： | G01B7/012;G01B7/016 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是一种相位式探针感测结构，其是与一探针相连接，所述的相位式探针感测结构包含：一致动单元；与所述的致动单元相连接的一基材；以及与所述的基材相连接的一感测单元；其中，所述的致动单元是产生一定频率的振动，使所述的相位式探针感测结构共振在一预定模态；如此，本发明的相位式探针感测结构是能提高探针的量测灵敏度，同时大幅降低量测时探针对待测物的施力大小，有效解决现有技术的缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 相位 探针 结构 | ||
【主权项】：
1.一种相位式探针感测结构，其是与一探针相连接，其特征在于：所述的相位式探针感测结构包含：一致动单元；一基材，其是与所述的致动单元相连接；以及一感测单元，其是与所述的基材相连接；其中，所述的致动单元是使所述的相位式探针感测结构产生一预定频率的振动。
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