[发明专利]激光振荡器及其电源装置、该激光振荡器的控制方法

摘要

本发明涉及激光振荡器、控制方法及其电源装置。将来自控制装置的激光输出指令设定值输入至电流上限值设定部，设定基于该激光输出指令设定值确定的电流上限值。然后，由第2比较器比较电流指令值和由电流上限值设定部设定的电流上限值，该电流指令值是根据激光输出指令设定值及由功率监视器测定出的激光输出测定值而设定的。利用第2比较器，电流上限值较大时将电流指令值设定为基准电流值，电流上限值较小时将电流上限值设定为基准电流值，根据该基准电流值来控制激励单元的供给电流。由此，通过设定与激光输出指令设定值对应的电流上限值，防止激励单元的通电电流增加、即输入能量增加，抑制光学部件的能量损耗，防止发展为需要更换部件的损伤。

主权项

1. 一种激光振荡器，其对射出的激光的输出进行测定，对该激光输出测定值和期望的激光输出指令值进行比较，对激励单元的电流供给进行反馈控制，以得到与所述激光输出指令值对应的激光输出，该激励单元用于对激光介质进行激励，其特征在于，该激光振荡器具有：电流上限值设定单元，其对应于所述激光输出指令值而设定电流上限值，该电流上限值用于对由所述激励单元的反馈控制得到的电流供给进行限制；以及电流限制单元，其对由所述反馈控制得到的电流供给进行限制，以使该电流供给小于或等于由所述电流上限值设定单元设定的所述电流上限值。