[发明专利]通过离子束扫描工件的方法和装置无效
| 申请号： | 200680052235.9 | 申请日： | 2006-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN101336456A | 公开（公告）日： | 2008-12-31 |
| 发明（设计）人： | 阿弗拉姆·法伊特斯;马修·C·格维因;艾瑞克·R·哈林顿 | 申请（专利权）人： | 艾派恩有限公司 |
| 主分类号： | G21K5/10 | 分类号： | G21K5/10 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张春媛 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了用于将工件安装在长形构件上，控制工件通过离子束路径进行扫描的方法和装置。长形构件上的旋转机构能够对工件进行部分、反复的扫描。在连接处弯曲长形构件从而将工件移进和移出离子束路径。这便于单个工件的安装和移除。用于旋转的发动机可以悬置在部分真空的外壳内；上述发动机还可以用于升高和降低长形组件和工件用以垂直扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 离子束 扫描 工件 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种通过离子束路径扫描工件的方法，包含以下步骤：在长形构件的一端将工件安装在离子束路径内；围绕长形构件上远离工件的旋转点部分、反复地旋转长形构件，从而沿着弓形路径通过离子束路径对工件进行反复扫描；以及在位于一端和旋转点之间的接合处弯曲长形构件，将一端移出离子束路径，从而便于在一端安装和移除单个工件。
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