[发明专利]金属材料的液体－粒子分析无效
| 申请号： | 200680050864.8 | 申请日： | 2006-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN101356430A | 公开（公告）日： | 2009-01-28 |
| 发明（设计）人： | S·D·斯特罗瑟斯;J·K·卡多库斯;B·M·克拉克 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47;G01N33/20;G01N15/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 段晓玲;韦欣华 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明包括检测包含金属的制品中杂质的方法。金属材料的一部分从金属制品中去除，并在包含酸或碱的液体中进行溶解以产生液体样品。该液体样品受到入射激光束的照射，检测从样品散射的光。本发明包括分析物理气相沉积的靶材料的方法。部分靶材料从靶中去除，并用包含酸的溶液冲洗。靶材料的所述部分溶解以制备液体样品。该样品受到入射激光束的照射，检测激光束的散射用于确定样品中的特定尺寸范围内存在的粒子数。 | ||
| 搜索关键词： | 金属材料 液体 粒子 分析 | ||
【主权项】：
1、检测包含金属的制品中杂质的方法，包括：提供包含金属材料的制品；去除所述金属材料的一部分；在液体中溶解金属材料的所述一部分，以产生液体样品，所述液体是酸溶液或碱溶液之一；使所述液体样品经历入射激光束和非相干宽带光束的至少之一；和检测从所述液体样品散射的光。
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