[发明专利]金属材料的液体－粒子分析

权利要求书

1、检测包含金属的制品中杂质的方法，包括：

提供包含金属材料的制品；

去除所述金属材料的一部分；

在液体中溶解金属材料的所述一部分，以产生液体样品，所述液体是酸溶液或碱溶液之一；

使所述液体样品经历入射激光束和非相干宽带光束的至少之一；和

检测从所述液体样品散射的光。

2、如权利要求1所述的方法，其中在所述金属材料中存在的所述杂质包含存在于所述金属材料中的非金属粒子和夹杂物的至少之一。

3、如权利要求1所述的方法，其中在所述金属材料存在的所述杂质基本由非金属粒子和夹杂物的所述至少之一组成。

4、如权利要求1所述的方法，其中在所述液体样品中的杂质包含尺寸范围小于100μm的粒子。

5、如权利要求1所述的方法，其中在所述液体样品中存在的杂质包含粒子，其中所述样品中的所有粒子的粒子尺寸小于大约1μm。

6、如权利要求5所述的方法，进一步包含对所述液体样品中的粒子数目进行计数。

7、如权利要求1所述的方法，其中所述检测散射光包括获得散射图谱，并且进一步包括基于所述散射图谱确定在所述液体样品中存在的颗粒杂质的粒子尺寸。

8、如权利要求7所述的方法，其中所述确定的粒子尺寸小于100μm。

9、如权利要求7所述的方法，其中所述确定的粒子尺寸直径小于20μm。

10、如权利要求7所述的方法，其中所述确定的粒子尺寸小于1μm。

11、如权利要求7所述的方法，其中所述确定的粒子尺寸小于0.5μm。

12、如权利要求1所述的方法，其中所述包含金属的制品是溅射靶。

13、如权利要求12所述的方法，其中在对所述靶进行任何溅射之前，去除所述金属材料的所述一部分。

14、权利要求12所述的方法，其中在对所述靶进行溅射后，去除所述金属材料的所述一部分。

15、如权利要求1所述的方法，其中所述包含金属的制品包含通过从溅射靶溅射而沉积的所述金属材料的层。

16、如权利要求1所述的方法，其中所述入射激光束是具有第一波长的第一激光束，和进一步包括在所述液体样品经历所述第一入射激光束后，使所述液体样品经历具有与所述第一波长不同的第二波长的第二入射激光束。

17、如权利要求16所述的方法，其中从所述第一激光束的散射提供在第一尺寸范围内的第一组粒子的粒子尺寸和计数的信息，和其中从所述第二激光束的散射提供在第二尺寸范围内的第二组粒子的粒子尺寸和计数的信息。

18、分析物理气相沉积靶材料的方法，包含：

从所述靶去除所述靶材料的一部分；

用含酸溶液冲洗材料的所述一部分；

通过在液体中溶解由材料的所述一部分包含的金属来制备用于分析的样品；

使所述样品经历从激光束和非相干宽带光束中选择的入射光束；

检测所述激光束的散射以确定所述样品中存在的在粒子尺寸范围内的粒子的数量。

19、如权利要求18所述的方法，其中存在于所述样品中的所述粒子包含非金属化合物和夹杂物的至少之一。

20、如权利要求18所述的方法，其中所述粒子尺寸范围小于20μm。

21、如权利要求18所述的方法，其中所述靶材料包含至少一种金属，选自Al、Cu、Ti、Ta、Ru、W、Au、Ag、Mo、Co、Ni、Se、Ni、Se、Te、Ge、Sn和Pb。