[发明专利]一种使薄膜形成图案的方法无效
| 申请号： | 200680046770.3 | 申请日： | 2006-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN101384963A | 公开（公告）日： | 2009-03-11 |
| 发明（设计）人： | J·德梅洛;D·布拉德利;J·黄 | 申请（专利权）人： | 帝国创新有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民;路小龙 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 一种使薄膜形成图案的方法，包括：在基底上沉积中间辐射敏感层；在该中间层上沉积该薄膜——在沉积该薄膜之前或之后：使该中间层曝光于图案化的辐射以引发其中的化学反应；以及除去该中间层和相应薄膜的图案化辐射所限定的部分，以在基底上留下图案化的薄膜和图案化的中间层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 形成 图案 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种使薄膜形成图案的方法，其包括：在基底上沉积中间辐射敏感层；将所述薄膜沉积在所述中间层上；在沉积所述薄膜之前或之后：使所述中间层曝光于图案化辐射，以引发其中的化学反应；和去除所述中间层的图案化辐射限定的部分和相应的薄膜，留下所述基底上的图案化薄膜和图案化中间层。
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