[发明专利]形成溅射靶组件的惯性结合方法及由此制成的组件

摘要

描述了形成溅射靶组件的方法及由此制成的组件。该方法可以包括通过用软焊、硬焊金属或其合金将溅射靶组件结合到背衬板上，和在将溅射靶组件结合到背衬板上后回流该软焊或硬焊金属。

主权项

1、形成包括背衬部件和靶部件的溅射靶组件的方法，包括：布置具有带有多个凸出部的结合面的部件、和具有带有多个适合接受所述凸出部的凹槽的结合面的部件，由此所述凸出部和所述凹槽基本上配准，和其中由所述结合面限定界面；在该结合面上至少一个部件的至少一部分上布置软焊金属或合金、硬焊金属或合金、或其组合；使至少一个凸出部的一部分和至少一个凹槽的一部分滑动接触；使所述至少一个凸出部部分变形以至少部分填充所述至少一个凹槽，由此在该靶部件和背衬部件之间形成至少机械结合，其中具有所述凹槽的所述部件为其熔点高于构成该凸出部的金属的熔点的金属；和进行再流动步骤以使软焊金属或合金、硬焊金属或合金、或其组合再流动，然后让所述软焊金属或合金、硬焊金属或合金硬化。