[发明专利]包括部分滚轴支撑及中间脚的弹性磁控管有效
| 申请号： | 200680042135.8 | 申请日： | 2006-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN101506404A | 公开（公告）日： | 2009-08-12 |
| 发明（设计）人： | M·伊纳格瓦;A·霍斯卡瓦;H-M·胡·勒;I·来吾特斯凯;J·M·怀特;T·马丁;B·O·史汀生 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆 嘉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种磁控管扫描与支撑机构，其中磁控管(326)利用将多个弹簧(330)耦接至磁控管上不同水平位置的方式而部分撑托在悬挂的扫描机构的支撑板(268)上，且其下部分撑托在标靶上不同位置的滑座或滚珠(282)。在一实施例中，轭板为连续且均匀的。在另一实施例中，磁控管的磁性轭板分成二弹性轭板220、224，其例如具有互补的蜿蜒模型以支撑相应磁性的磁铁。在又一实施例中，标靶及磁控管为由其它结构隔开的条片标靶(262)及条片磁控管(264)。各条片磁控管部分由上方的共享扫描板所撑托且部分撑托于对应的条片标靶上。中心机构(350、358、362、368)可对准不同的条片磁控管。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 部分 滚轴 支撑 中间 弹性 磁控管 | ||
【主权项】：
1. 一种磁控管组件，其至少包含：至少一轭板，包含可磁化材料，用以支撑和磁性耦接数个磁铁，以构成可沿着相邻溅镀标靶的第一方向扫描的磁控管；数个接点，固定于该至少一轭板的第一主面且可动接触该溅镀标靶的背面，当该至少一轭板部分地撑托在该溅镀标靶上时，该至少一轭板可沿着该第一方向移动；以及数个弹簧支撑件，延伸自该至少一轭板的第二主面。
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