[发明专利]等离子加工设备

摘要

为了提供能够容纳待加工物品的面积的增加、并且能够在开始正常等离子放电时确保适当的加工的大气压等离子加工设备。在一种大气压等离子加工设备中，台(20)的第一台部分(21)的第一金属表面(21a)被暴露，并且由电介质材料组成的待加工物品(W)放置在第一金属表面21a上。固体介电层(25)设置在第二台部分(22)的第二金属(24)上。物品W的周边部分放置在固体介电层(25)的内部介电部分(26)上。电极(11)在第二台部分(22)的上方的第二移动范围(R2)内产生助走放电(D2)。然后，电极(11)移动到第一台部分(21)的上方的第一移动范围(R1)并产生正常等离子放电(D1)。

主权项

1.一种等离子加工设备，该等离子加工设备通过将待加工物品暴露到近似大气压等离子放电来加工待加工物品的表面，该待加工物品主要由电介质材料组成，所述设备包括：台，所述台包括第一台部分和第二台部分，所述第一台部分具有暴露的第一金属表面，所述第二台部分具有覆盖有固体介电层的第二金属表面并设置在所述第一台部分的外周边部分上，所述待加工物品放置在所述第一台部分的所述第一金属表面上，从而使得所述待加工物品的周边部分凸向所述第二台部分；和电极，所述电极相对于所述台在包括第一移动范围和第二移动范围的范围内相对移动，在第一移动范围内所述电极与所述第一台部分相对以便产生所述等离子放电，在所述第二移动范围内所述电极与所述第二台部分相对。