[发明专利]等离子加工设备

权利要求书

1.一种等离子加工设备，该等离子加工设备通过将待加工物品暴露到近似大气压等离子放电来加工待加工物品的表面，该待加工物品主要由电介质材料组成，所述设备包括：

台，所述台包括第一台部分和第二台部分，所述第一台部分具有暴露的第一金属表面，所述第二台部分具有覆盖有固体介电层的第二金属表面并设置在所述第一台部分的外周边部分上，所述待加工物品放置在所述第一台部分的所述第一金属表面上，从而使得所述待加工物品的周边部分凸向所述第二台部分；和

电极，所述电极相对于所述台在包括第一移动范围和第二移动范围的范围内相对移动，在第一移动范围内所述电极与所述第一台部分相对以便产生所述等离子放电，在所述第二移动范围内所述电极与所述第二台部分相对。

2.根据权利要求1的等离子加工设备，其中所述第二台部分的所述固体介电层的厚度和介电常数设置成使得在所述第二移动范围内的所述电极和所述第二台部分之间产生所述等离子放电。

3.根据权利要求1的等离子加工设备，其中所述第二台部分的所述固体介电层包括内部介电部分和外部介电部分，所述物品的周边部分将放置在内部介电部分上，所述外部介电部分设置在所述内部介电部分的与所述第一台部分相对的相对侧上，所述外部介电部分比所述物品的所述周边部分更凸出；并且

其中，所述内部介电部分和所述外部介电部分中至少所述外部介电部分对应于所述第二金属表面设置并覆盖所述第二金属表面。

4.根据权利要求3的等离子加工设备，其中所述外部介电部分的厚度和介电常数设定成使得在所述第二移动范围内的所述电极和所述外部介电部分之间产生所述等离子放电。

5.根据权利要求3的等离子加工设备，其中所述外部介电部分的厚度与介电常数的比率与所述物品的厚度与介电常数的比率大致相同。

6.根据权利要求3的等离子加工设备，其中所述电极具有在所述相对移动方向上横跨所述外部介电部分和所述第一台部分的宽度。

7.根据权利要求3的等离子加工设备，其中所述第一金属表面比所述第二金属表面更凸向所述电极；并且

其中所述外部介电部分比所述第一金属表面更凸向所述电极。

8.根据权利要求3的等离子加工设备，其中所述外部介电部分的表面比所述第一金属表面更凸向所述电极的凸出量与所述物品的厚度大致相同。

9.根据权利要求3的等离子加工设备，其中所述内部介电部分的表面与所述第一金属表面平齐。

10.根据权利要求3的等离子加工设备，其中所述内部介电部分的厚度朝所述第一台部分减小。

11.根据权利要求3的等离子加工设备，其中在所述内部介电部分和所述外部介电部分之间形成台阶。

12.根据权利要求3的等离子加工设备，其中所述内部介电部分和所述外部介电部分连续且整体地形成。

13.根据权利要求1的等离子加工设备，其中所述台包括金属制的台本体；

其中比所述台本体的周边部分更进一步地位于内侧的部分包括所述暴露的第一金属表面，以便构成所述第一台部分；并且

其中所述台本体的所述周边部分包括覆盖有所述固体介电层的所述第二金属表面，所述台本体的所述周边部分和所述固体介电层构成所述第二台部分。

14.根据权利要求1的等离子加工设备，其中所述电极在包括所述第一移动范围、所述第二移动范围和第三移动范围的范围内相对移动，所述第三移动范围定位在所述第二移动范围的与所述第一移动范围相对的相对侧上；

其中所述设备还包括电源电路；并且

其中在所述电极经所述第二移动范围从所述第三移动范围朝所述第一移动范围移动的同时、当所述电极到达预定位置时，所述电源电路开始给所述电极供应电压用于所述等离子放电，所述预定位置定位在使所述电极定位成横跨所述第二移动范围和所述第三移动范围的位置和使所述电极定位在紧靠所述第一移动范围之前的位置之间。

15.根据权利要求14的等离子加工设备，其中在所述预定位置处，所述电极的大约百分之30-70位于所述第二移动范围中，所述电极的其余部分位于所述第三移动范围中。