[发明专利]被膜形成用涂布液的制造方法有效
| 申请号： | 200680029437.1 | 申请日： | 2006-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN101243149A | 公开（公告）日： | 2008-08-13 |
| 发明（设计）人： | 沼尻悟;元山贤一 | 申请（专利权）人： | 日产化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C09D185/00 | 分类号： | C09D185/00;C09D5/25;C09D7/12;C09D183/00;C09D183/02;H01L21/312;H01L21/316;H01L21/768 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 朱黎明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供能在低温的固化条件下形成充分固化的被膜、能在该被膜上形成抑制了凹陷和针孔的取向膜的被膜形成用涂布液的制造方法。该被膜形成用涂布液的制造方法的特征在于，包含得到含有使烷氧基金属(A)在溶剂(B)中进行水解·缩合反应而生成的缩合物的溶液的工序1；得到将上述工序1中得到的溶液用溶剂(C)置换后的溶液的工序2。烷氧基金属(A)是选自式(1)表示的化合物(式中，R1表示碳原子数为1～5的烷基)中的至少1种烷氧基金属；溶剂(B)是选自碳原子数为1～10的醇、碳原子数为2～5的酯、四氢呋喃以及碳原子数为2～5的醚中的至少1种有机溶剂；溶剂(C)是选自碳原子数为2～10的二醇中的至少1种有机溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 用涂布液 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.被膜形成用涂布液的制造方法，其特征在于，具有以下工序：得到含有使烷氧基金属(A)在溶剂(B)中进行水解·缩合反应而生成的缩合物的溶液的工序1，得到将所述工序1中得到的溶液用溶剂(C)置换后的溶液的工序2；其中，烷氧基金属(A)是选自式(1)表示的化合物中的至少1种烷氧基金属，Ti(OR1)4 (1)式中，R1表示碳原子数为1～5的烷基；溶剂(B)是选自碳原子数为1～10的醇、碳原子数为2～5的酯、四氢呋喃以及碳原子数为2～5醚中的至少1种有机溶剂；溶剂(C)是选自碳原子数为2～10的二醇中的至少1种有机溶剂。
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