[发明专利]微结构体的检查装置、检查方法以及检查程序

摘要

提供一种以简易方式高精确度地检查具有微小可动部的微结构体的检查装置、检查方法以及检查程序。输入测试声波，解析对测试声波的输入进行了响应的传感器输出电压振幅的频率特性。根据预先设想的使用条件等算出设备所要求的最大频率以及最小频率，判定能否在该频带中检测出期望的特性。具体地说，在规定的频带中，根据响应特性是否超过作为阈值的最小特性水平来判定为是合格品还是不合格品。

主权项

1.一种微结构体的检查装置，对具有形成在基板上的可动部的、至少一个微结构体的特性进行评价，其特征在于，具备：声波产生单元，其在测试时向上述微结构体输出测试声波；以及评价单元，其用于检测对由上述声波产生单元输出的上述测试声波进行了响应的上述微结构体的可动部的运动，并根据检测结果来评价上述微结构体的特性，上述评价单元根据至少一个规定频带中的基于上述微结构体的可动部的运动而输出的输出电压和成为规定阈值的输出电压之间的比较，评价上述微结构体的特性。