[发明专利]流体储存和分配系统以及包含该系统的流体供应方法有效
| 申请号： | 200680023941.0 | 申请日： | 2006-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN101213008A | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 卡尔·W·奥兰德;詹姆斯·V·麦克马纳斯;史蒂文·J·胡尔特奎斯特;乔斯·I·阿尔诺;彼得·范巴斯柯克 | 申请（专利权）人： | 高级技术材料公司 |
| 主分类号： | B01D53/02 | 分类号： | B01D53/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;李丙林 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及流体储存和分配系统，以及使用其供给流体的方法。本发明描述了流体储存和分配系统的各种设置，涉及装有物理吸附剂的流体储存和分配容器以及装有内部调节器的流体储存和分配容器的设置。这些系统和方法适用于非常广泛的不同的终端应用，包括以加强的安全性储存和分配危险流体。正如本文中所公开的，在特定的终端应用中，试剂气体被从在负压下储存气体的装有物理吸附剂的大型的、固定定位的流体储存和分配容器中分配到半导体制造设备中，这种容器可以用充注气体的安全气源进行充注。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 储存 分配 系统 以及 包含 供应 方法 | ||
【主权项】：
1.一种加工装置，包括：其中装有对感兴趣的流体具有吸附亲和力的物理吸附剂介质、和/或流体压力调节器的大型的、固定定位的流体储存和分配容器，以及在加工操作中适于采用所述感兴趣的流体的工艺设备，其中所述流体储存和分配容器以分配流动连通方式与所述工艺设备相连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于高级技术材料公司，未经高级技术材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200680023941.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
