[发明专利]用于恶劣环境的涂层以及使用所述涂层的传感器无效
| 申请号： | 200680017994.1 | 申请日： | 2006-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN101180532A | 公开（公告）日： | 2008-05-14 |
| 发明（设计）人： | J·C·安德烈;R·B·哈斯克尔;J·H·布拉德肖 | 申请（专利权）人： | 多弗电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/32 | 分类号： | G01N29/32;H01L41/04 |
| 代理公司： | 北京嘉和天工知识产权代理事务所 | 代理人： | 严慎 |
| 地址： | 美国新罕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种提供高耐磨性和耐化学性的涂层，所述涂层由选自钒、钼、铌、钽等的阻挡层(40)和类金刚石碳的外部层(50)构成。所述涂层尤其可应用于基于声波器件(AWD)的传感器，以及可应用于钝化电极(例如沉积在AWD传感区域上的电极(30))。所述涂层为涂敷声波器件提供优秀的机械和声学特性，允许所述传感器可以在恶劣的环境中工作。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 恶劣 环境 涂层 以及 使用 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种基于有涂层声波器件(AWD)的传感器，所述传感器包括至少一个具有两个相反面的压电板，所述两个面中的一个具有传感区域，所述传感器具有涂覆在所述传感区域的涂层，所述涂层的特征在于：沉积在所述传感区域上的第一电极；沉积在所述第一电极之上的阻挡层，所述阻挡层包括至少一种选自由钽、铌、钒、钼或其组合所组成的组的金属；以及耐磨层，所述耐磨层包括沉积在所述阻挡层之上的类金刚石碳(DLC)。
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