[发明专利]用于母版制作的方法和母版基板无效
| 申请号： | 200680007253.5 | 申请日： | 2006-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN101160629A | 公开（公告）日： | 2008-04-09 |
| 发明（设计）人： | J·J·X·德洛伊纳斯德福米乔;P·G·J·M·皮特斯;E·R·梅因德斯;H·S·P·鲍曼斯 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G11B7/26 | 分类号： | G11B7/26;G11B23/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 李亚非;刘红 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于在母版基板(12)的记录层叠(10)中提供高密度浮雕结构的方法，特别是用于为批量制造光盘制作压模的母版基板(12)或者用于为微接触印刷产生印模的母版基板，该方法包括以下步骤：提供记录层叠(10)，其包括电介质层(14)和用于在该电介质层(14)内支持热量引发的相位过渡的装置(16，18；20)；在该电介质层(14)的将要通过施加激光脉冲而形成坑(24)的区域(22)中导致热量引发的相位过渡；以及通过蚀刻工艺去除该电介质层(14)的已经经历了相位过渡的区域(22)；或者通过蚀刻工艺去除该电介质层(14)的尚未经历过相位过渡的区域(26)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 母版 制作 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于在母版基板(12)的记录层叠(10)中提供高密度浮雕结构的方法，特别是用于为批量制造光盘制作压模的母版基板(12)或者用于为微接触印刷产生印模的母版基板，该方法包括以下步骤：-提供记录层叠(10)，其包括电介质层(14)和用于在该电介质层(14)内支持热量引发的相位过渡的装置(16，18；20；34)；-在该电介质层(14)的将要通过施加激光脉冲而形成坑/突起(24)的区域(22)中导致热量引发的相位过渡；以及-通过蚀刻工艺去除该电介质层(14)的已经经历了相位过渡的区域(22)；或者-通过蚀刻工艺去除该电介质层(14)的尚未经历过相位过渡的区域(26)。
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