[发明专利]透光性物品的检查方法有效
| 申请号： | 200680005281.3 | 申请日： | 2006-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN101120245A | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | 田边胜 | 申请（专利权）人： | HOYA株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958;G03F1/08;C03B20/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够正确检查透光性物品的内部的光学不均匀性的有无的透光性物品的检查方法。一种透光性物品的检查方法，其使用于光平版印刷，检查在由透光性材料构成的透光性物品(4)的内部，有无相对于曝光光光学特性部分或局部变化的不均匀性(具体是内部缺陷(16))，其中，向所述透光性物品导入具有200nm以下的波长的检查光，在所述检查光在该透光性物品内部传播的光路中，通过检测部分或局部产生的比所述检查光的波长长的光(15)，来检查所述透光性物品中的光学不均匀性的有无。 | ||
| 搜索关键词： | 透光 物品 检查 方法 | ||
【主权项】：
1.一种透光性物品的检查方法，其使用于光平版印刷，检查在由透光性材料构成的透光性物品的内部，有无相对于曝光光光学特性部分或局部变化的不均匀性，其特征在于，向所述透光性物品导入具有200nm以下的波长的检查光，在所述检查光在该透光性物品内部传播的光路中，通过检测部分或局部产生的比所述检查光的波长长的光，来检查所述透光性物品中的光学不均匀性的有无。
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