[发明专利]具有改进性能的浸渍表面涂料有效
| 申请号： | 200680004726.6 | 申请日： | 2006-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN101164013A | 公开（公告）日： | 2008-04-16 |
| 发明（设计）人： | R·D·艾伦;P·J·布罗克;D·吉尔;W·D·欣斯伯格;C·E·拉森;L·K·森德伯格;G·M·沃尔拉夫 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G03C1/00 | 分类号： | G03C1/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王健 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了在光致抗蚀剂材料上涂施的表面涂料。该表面涂料包含至少一种溶剂和在含水碱性显影剂中具有至少3000/秒的溶解速率的聚合物。该聚合物含有六氟醇单体单元，该单元包含下列两种结构之一：(I)，其中n是整数。该表面涂料可用在光刻法中，其中将该表面涂料涂施在光致抗蚀剂层上。表面涂料优选不溶于水，因此特别可用在使用水作为成像介质的浸渍光刻技术中。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 改进 性能 浸渍 表面 涂料 | ||
【主权项】：
1.在光致抗蚀剂材料上涂施的表面涂料，其包含至少一种溶剂和在含水碱性显影剂中具有至少3000/秒的溶解速率的聚合物。
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