[发明专利]真空部件的制造方法、树脂被膜形成装置及真空成膜系统有效
| 申请号： | 200680004400.3 | 申请日： | 2006-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN101115860A | 公开（公告）日： | 2008-01-30 |
| 发明（设计）人： | 畠中正信;高桥善和;石川道夫;中村文生 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C16/44;C08G73/10 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王健 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种对形状复杂的内部通路可容易地形成树脂被膜的真空部件制造方法及树脂被膜形成装置。本发明涉及的树脂被膜形成装置(21)，具有：单体蒸气的供给部(23)、输送单体蒸气的真空排气管线(24)、与真空排气管线(24)的一部分上设置的真空部件(22A)的内部通路可连接的连接部(24C)、在与该连接部(24C)连接的真空部件(22A)的内部通路上使上述单体蒸气附着、形成树脂被膜的部件温度调节机构(31)。通过该构成，仅通过将真空部件(22A)的内部通路暴露于单体蒸气中，就可在该内部通路上以均匀而且高的被覆性形成树脂被膜。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 部件 制造 方法 树脂 形成 装置 系统 | ||
【主权项】：
1.一种真空部件的制造方法，其是具有内部通路的真空部件的制造方法，其特征在于，上述内部通路与真空排气管线连接后，把单体蒸气通过上述真空排气管线供给上述内部通路，在该内部通路上形成树脂被膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社爱发科，未经株式会社爱发科许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200680004400.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
