[发明专利]微机电元件及使用其的机电开关无效
| 申请号： | 200680003608.3 | 申请日： | 2006-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN101111911A | 公开（公告）日： | 2008-01-23 |
| 发明（设计）人： | 内藤康幸 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H01H1/04 | 分类号： | H01H1/04;H01H1/06;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 肖鹂 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有长寿命和高可靠性的疏水表面结构的微机电元件以及使用该微机电元件的机电开关。在该微机电元件中，电极的最外表面具有第一区域和第二区域的复合表面结构，该第一区域是由构成该电极的第一材料形成，该第二区域由至少具有疏水性的第二材料形成。采用由该电极材料和单分子层膜的复合表面结构作为该表面结构，可以避免对单分子层的物理压迫。另外，当其中单分子层不形成于射频信号传播路径上的结构被采用时，可以避免插入损耗的增大以及电场损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 元件 使用 机电 开关 | ||
【主权项】：
1.一种微机电元件，包括：第一部件；以及与所述第一部件重复地接触和不接触的第二部件，其中所述第一部件和所述第二部件之间的接触界面包括：第一区域，其中所述第一部件和第二部件直接接触；以及第二区域，其中疏水层夹置于所述第一部件和第二部件之间。
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