[发明专利]利用间接光电效应来测试电气元件的方法无效
| 申请号： | 200680003263.1 | 申请日： | 2006-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN101116001A | 公开（公告）日： | 2008-01-30 |
| 发明（设计）人： | 克里斯多弗·沃彻;真倪－杰克·亚伯特 | 申请（专利权）人： | 法商柏奈德公司 |
| 主分类号： | G01R31/308 | 分类号： | G01R31/308 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张春媛 |
| 地址： | 法国波*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明是关于一种通过至少一个电子放电电极(22)、至少一个电子收集电极(22)、以及至少一个粒子射束(BI)的来源来测试或测量电气元件(10、11、13)的方法，其中包含：通过该粒子射束弹射出该放电电极(22)中的电子，并且将该放电电极所供应的电子注入元件(10、11、13)之中；以及通过该粒子射束弹射出元件(10、11、13)中的电子，并且由该收集电极来收集从该元件中被弹射出的电子。根据本发明，从该放电电极(22)中弹射出电子包含于该放电电极上施加因入射粒子射束(BI)于至少一个元件上反射所造成的反射粒子射束(BR)。其优点如下：简化将电子注入元件中的步骤，并且简化上述放电与收集电极的结构。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 间接 光电效应 测试 电气 元件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种让处于初始浮动电位(Vf)处的电气导体(10、11、13)具有目标电位(Vn)的方法，该初始浮动电位(Vf)高于该目标电位(Vn)，该方法的步骤如下：1)在该导体附近设置至少一个电子放电电极(22)，2)让该放电电极(22)具有该目标电位(Vn)，以及3)利用粒子射束(BI)从该放电电极(22)中弹射出电子(e2)，并将该放电电极所供应的电子注入该导体中，其特征在于从该放电电极(22)中弹射出电子包含于该放电电极上施加因入射粒子射束(BI)于该导体(10、11、13)上反射所造成的反射粒子射束(BR)。
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