[发明专利]外观检查装置和方法

摘要

旋转多面镜(11)被构成为：按照随着等角速度的旋转而扫描光束的聚光点在副扫描方向(Y)上偏离的方式，使旋转轴(11b)与镜面所形成的角度(γ)按各个镜面不同，并且按照使上述聚光点在高度方向(Z)的检查范围(Zr)移动的方式构成聚光点位置形成用光学系统(2、17)，按照与旋转多面镜的等角速度的旋转同步，在副扫描方向和高度方向上偏离的上述聚光点在上述检查对象物(3)的高度方向上以直线状被扫描的方式，使检查对象物在副扫描方向上移动，来进行XYZ扫描，根据共焦法求得检查对象物的外观的位置坐标，进而进行外观检查。

主权项

1、一种外观检查装置，其特征在于，具备：射出光束的光源；旋转多面镜，在外周部至少具有3个镜面，按围绕旋转轴以等角速度可旋转的方式配置，经由上述各个镜面将上述光源所射出的上述光束向检查对象物偏转，通过上述旋转可使上述光束在主扫描方向上以直线状扫描；聚光点位置形成用光学系统，当通过上述旋转多面镜的旋转而使由上述旋转多面镜的上述各个镜面所偏转扫描的上述光束在聚光点聚光时，使上述聚光点在与上述检查对象物的上述扫描方向正交的高度方向的检查范围内移动；光检测器，将反射光的光强度光电转换为光电转换信号输出，该反射光的光强度是通过上述聚光点位置形成用光学系统后，由上述检查对象物反射的经由上述聚光点位置形成用光学系统、且由上述旋转多面镜的上述镜面偏转的反射光的光强度，依赖于上述聚光点与上述光束在上述检查对象物中的反射点之间的距离；检查对象物移动装置，与上述旋转多面镜的上述等角速度的旋转同步，使上述检查对象物在与上述主扫描方向及上述高度方向正交的副扫描方向上移动；和运算部，基于由上述光检测器进行光电转换后的上述反射光的上述光电转换信号输出，求得上述检查对象物的外观的位置坐标，进行上述检查对象物的外观检查，上述旋转多面镜被构成为：按照随着上述等角速度的旋转而上述光束的上述聚光点在上述副扫描方向上偏离的方式，使该旋转多面镜的旋转轴与上述镜面所形成的角度即镜面角度按各个镜面不同，上述检查对象物移动装置被构成为：按照在上述旋转多面镜以上述等角速度进行一个旋转的期间，通过上述聚光点位置形成用光学系统在上述高度方向的上述检查范围内移动的、且由上述各个镜面在上述副扫描方向上偏离的上述聚光点，在上述检查对象物的上述高度方向上以直线状被扫描的方式，使上述检查对象物在上述副扫描方向上移动，并且在上述旋转多面镜以上述等角速度开始进行又一个旋转之前，在上述副扫描方向上使上述检查对象物移动，使上述主扫描方向的直线状的扫描以及上述高度方向的上述检查范围内的上述聚光点的移动所进行的外观检查，在与上述旋转多面镜于上述一个旋转中的外观检查在上述检查对象物上不同的部分进行。