[实用新型]一种反应室温度监控装置

摘要

本实用新型公开了一种反应室温度监控装置，其包括安装于被监控反应室的温度传感模块，温度监测模块，报警模块以及电源模块，其中上述温度传感模块用于检测温度并向上述温度监测模块发送温度信号，上述温度监测模块根据收到的温度信号判断温度是否超出范围，并根据温度判断结果输出报警信号至上述报警模块，上述电源模块为上述反应室温度监控装置提供电源。本实用新型可防止半导体制造过程中由于反应室内温度漂移过大造成的产品报废，从而提高产品成品率，节约生产原料，且可防范安全事故。

主权项

1.一种反应室温度监控装置，其特征在于，包括：安装于被监控反应室的温度传感模块(1)，温度监测模块(2)，报警模块(3)以及电源模块(5)，其中上述温度传感模块(1)用于检测温度并向上述温度监测模块(2)发送温度信号，上述温度监测模块(2)根据收到的温度信号判断温度是否超出范围，并根据温度判断结果输出报警信号至上述报警模块(3)，上述电源模块(5)为上述反应室温度监控装置提供电源。