[实用新型]间隙检测及修正装置

摘要

本实用新型公开了一种间隙检测及修正装置，该装置包含支撑座、检测单元、升降单元、光罩座及调距单元；所述的支撑座用以承载板材；所述的检测单元检测所述的板材的中心部位及数个角对支撑座的相对高度；所述的升降单元根据检测单元的检测结果调整支撑座的高度；所述的光罩座用以承载光罩；所述的调距单元根据检测单元的检测结果调整光罩座的数个角对板材的相对高度，因此，可确保光罩及板材之间具有相等及固定的距离，进而相对提升后续曝光品质。

主权项

1.一种间隙检测及修正装置，其特征在于：该装置包括：支撑座，其用以承载板材；检测单元，其设有数个检测元件，每个检测元件对应于所述的板材的一个特定部位；升降单元，其根据所述的检测单元的检测结果带动支撑座上升或下降；光罩座，其用以支撑光罩，以便光罩对应于该支撑座上的板材；调距单元，其根据该检测单元的检测结果调整光罩及板材的相对距离。