[实用新型]晶圆研磨环构造无效
| 申请号： | 200620137443.6 | 申请日： | 2006-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN200984700Y | 公开（公告）日： | 2007-12-05 |
| 发明（设计）人： | 蔡宝珠 | 申请（专利权）人： | 蔡宝珠 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B29/02;B24B17/00;H01L21/304;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 | 代理人： | 张岱 |
| 地址： | 中国台湾新竹市北*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆研磨环构造。为解决现有晶圆研磨环存在塑料环的研磨面平整精密度误差过大，须进行长时间的无工件前置研磨作业而造成研磨工时延宕以及成本提高的问题而设计。包括一金属环以及贴合固定于该金属环第一侧面的一塑料环；该金属环的第二侧面为经过研磨处理光滑无车痕的表面型态。上述晶圆研磨环构造，可使塑料环的研磨面达到较佳平整精密度，进以大幅降低晶圆研磨环初次上机使用时研磨面平整精密度的误差值，大幅缩短无工件的前置研磨作业时间，达到降低研磨机械的耗损、电能及人事成本，延长晶圆研磨环的塑料环使用寿命的较佳产业利用效益及进步性。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 构造 | ||
【主权项】：
1、一种晶圆研磨环构造，其包括一金属环以及贴合固定于该金属环第一侧面的一塑料环；其特征在于：该金属环的第二侧面为经过研磨处理光滑无车痕的表面型态。
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