[实用新型]条形管芯镀膜夹具无效
| 申请号： | 200620112074.5 | 申请日： | 2006-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN200981889Y | 公开（公告）日： | 2007-11-28 |
| 发明（设计）人： | 杨璠;刘骁;陈于武;杨虹;闫丽斌 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十四研究所 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L21/687 |
| 代理公司： | 重庆博凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李晓兵;李玉盛 |
| 地址： | 400060重*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了条形管芯镀膜夹具，包括下盖片和上盖片，其特征在于：在所述下盖片内有下底板，在上盖片内有上盖板，在下底板和上盖板之间设置有管芯定位板，在下盖片、下底板、管芯定位板、上盖板和上盖片的中部，对应设置有夹具通孔；管芯定位板的夹具通孔比下盖片、下底板、上盖板和上盖片的夹具通孔小，形成夹具平台；管芯定位板的一端设置有压架槽与夹具通孔相通，在压架槽内设置有压紧片，压紧片对设置在夹具平台上的条形管芯施加夹持力。本实用新型的夹具，能改善镀膜层厚度均匀性，改善管芯解理面的性能，使其反射率控制在工艺设计范围之内；管芯安装方便，精度高；夹具结构简单、紧凑轻便；能够多次重复使用，单次生产能力高。 | ||
| 搜索关键词： | 条形 管芯 镀膜 夹具 | ||
【主权项】：
权利要求书1、条形管芯镀膜夹具，包括下盖片(1)和上盖片(5)，其特征在于：在所述下盖片(1)内设有下底板(2)，在上盖片(5)内设有上盖板(4)，在下底板(2)和上盖板(4)之间设置有管芯定位板(3)，在下盖片(1)、下底板(2)、管芯定位板(3)、上盖板(4)和上盖片(5)的中部，对应设置有夹具通孔(13)；管芯定位板(3)的夹具通孔(13)比下盖片(1)、下底板(2)、上盖板(4)和上盖片(5)的夹具通孔(13)小，形成夹具平台(14)；管芯定位板(3)的一端设置有压架槽(16)与夹具通孔(13)相通，在压架槽(16)内设置有压紧片(8)，压紧片(8)对设置在夹具平台(14)上的条形管芯(12)施加夹持力。
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