[实用新型]一种三维微结构制备成型系统无效
| 申请号： | 200620103468.4 | 申请日： | 2006-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN2934204Y | 公开（公告）日： | 2007-08-15 |
| 发明（设计）人： | 章海军;何玉琳;张冬仙 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;B23K26/12 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种三维微结构制备成型系统。三维微结构制备成型系统具有相连接的计算机、D/A接口、低压放大器、高压放大器、微结构加工核心单元，激光器、电源及控制电路。微结构加工核心单元，激光器具有透明有机玻璃平台，液体容器，热塑性材料，液体进口，液体出口，蒸馏水，XY移动平台。本实用新型可对各种热塑性材料制备微点阵、微柱阵、微线阵、微光学元件、微机械元件、微流体学元件等三维微结构，制备的结构线宽在1～100um量级内可调、纵横比可控(最大6∶1)。可望在微光学技术、微机械、微电子技术、MOEMS及微纳米技术等领域得到广泛应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三维 微结构 制备 成型 系统 | ||
【主权项】：
1.一种三维微结构制备成型系统，其特征在于它具有相连接的计算机、D/A接口、低压放大器、高压放大器、微结构加工核心单元，激光器、电源及控制电路。
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