[实用新型]一种用于尾气处理装置的连接管无效
申请号: | 200620048878.3 | 申请日: | 2006-12-13 |
公开(公告)号: | CN200982644Y | 公开(公告)日: | 2007-11-28 |
发明(设计)人: | 徐皓;张卫民;盛晓锋;刘晓林 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | F23G7/06 | 分类号: | F23G7/06 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 王洁 |
地址: | 2012*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种用于尾气处理装置的连接管。现有的连接管存在内径过小,导致硅烷自燃产生的固体粉末积聚并阻塞管路的问题。本实用新型的连接管用于一尾气处理装置,所述的尾气处理装置至少包括进气管,其管口具有第一内径;以及三通型燃烧管,其旁通管具有第二内径,且所述第二内径大于第一内径;所述连接管的一端通过第一接口连接至进气管的管口,另一端通过第二接口连接至燃烧管的旁通管,其中,所述连接管的内径逐渐增大。利用本实用新型的连接管能有效防止接口处的固体积聚,避免尾气处理装置发生气体泄漏等事故。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 尾气 处理 装置 接管 | ||
【主权项】:
权利要求书1、一种用于尾气处理装置的连接管,所述的尾气处理装置至少包括进气管,其管口具有第一内径;以及三通型燃烧管,其旁通管具有第二内径,且所述第二内径大于第一内径;所述连接管的一端通过第一接口连接至进气管的管口,另一端通过第二接口连接至燃烧管的旁通管,其特征在于:所述连接管的内径逐渐增大。
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