[实用新型]电弧涂层石英玻璃坩埚的生产设备无效
申请号: | 200620043670.2 | 申请日: | 2006-07-05 |
公开(公告)号: | CN200978251Y | 公开(公告)日: | 2007-11-21 |
发明(设计)人: | 王龙森;朱锡剑;赵庆良;王和平 | 申请(专利权)人: | 上海新沪玻璃有限公司 |
主分类号: | C03B19/09 | 分类号: | C03B19/09 |
代理公司: | 上海智力专利商标事务所 | 代理人: | 杨秀刚 |
地址: | 201800*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种能提高石英玻璃坩埚内壁纯度,减少内壁气泡密度的电弧石英玻璃坩埚的生产设备。包括石墨模具,在石墨模具内设有石英加料棒,石英加料棒与加料瓶相通,在石英加料棒的中间设有旋转接头,在加料瓶内设有振动器。本实用新型能抵御在长时间内抗析晶能力,更高温状态下具有机械强度的产品,设置气体导流板控制SiO2挥发物,解决坩埚内壁坩埚内表面凹凸不平及疵点的缺陷。 | ||
搜索关键词: | 电弧 涂层 石英玻璃 坩埚 生产 设备 | ||
【主权项】:
1.电弧涂层石英玻璃坩埚的生产设备,包括石墨模具,其特征是:在石墨模具内设有石英加料管,石英加料管与加料瓶相通,在石英加料管的中间设有旋转接头,在加料瓶内设有振动器。
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