[发明专利]利用直流辉光放电的细长金属管内表面常温注氮方法无效
| 申请号： | 200610200504.3 | 申请日： | 2006-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN1851036A | 公开（公告）日： | 2006-10-25 |
| 发明（设计）人： | 温小琼;王德真 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C23C8/36 | 分类号： | C23C8/36 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 | 代理人： | 侯明远 |
| 地址： | 116024*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于低温等离子体技术领域中材料表面改性技术，公开了一种利用直流辉光放电等离子体的细长金属管内表面常温注氮方法。其特征是：采用同轴电极结构、氩气和氮气或氨气Pa的气压下，利用几千伏的直流恒定高电压在细长金属管内产生稳定的圆筒状直流辉光等离子体，管内产生的圆筒状直流辉光等离子体的长度通过电压源电压进行控制，无需对待处理金属管加热或散热，在常温下对整个细长金属管内表面进行氮离子注入。本发明效果和益处是可以在直径5mm以上，长度5mm－2000mm的金属管表面均匀地进行氮离子注入，由于采用几千伏稳恒直流电压源，对真空度要求不高，无需对待处理金属管加热或散热，因而设备成本低，使用和维护方便。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 直流 辉光 放电 细长 金属管 表面 常温 方法 | ||
【主权项】：
一种利用直流辉光放电的细长金属管内表面常温注氮方法，其特征是：在细长金属管轴线上拉一根直径100至200微米的钨丝构成同轴电极结构，在同轴电极结构的外部套一个绝缘陶瓷管后放入真空室内，向真空室内通入氩气占40-60％的氩气和氮气或氨气混合气体，在1Pa-103Pa的气压下，利用直流恒定电压源加负高压在细长金属管内产生稳定的圆筒状直流辉光等离子体，管内产生的圆筒状直流辉光等离子体的长度通过电压源电压进行控制，无需对待处理金属管加热或散热，在常温下对整个细长金属管内表面进行氮离子注入。
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