[发明专利]特别是用于测量薄层厚度的装置的测量探针有效
| 申请号： | 200610171829.3 | 申请日： | 2006-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN1975319A | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | H·费希尔 | 申请（专利权）人： | 赫尔穆特·费希尔地产两合公司 |
| 主分类号： | G01B7/00 | 分类号： | G01B7/00;G01B7/06;G01B1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏;胡强 |
| 地址： | 德国辛*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种用于测量薄层厚度的装置的测量探针，其具有：包括至少一个感测器元件(17)的外壳(14)，所述的感测器元件沿所述的外壳(14)的纵轴(16)至少轻微可移动地容纳于外壳(14)；以及接触球形罩(21)，其配有至少一个感测器元件(17)以用于将所述的探针(11)放置在测量物体的表面上，其中，所述的至少一个感测器元件(17)沿所述的外壳(14)的纵轴(16)由保持部件(18)容纳，所述的保持部件设计成弹性的承载弹簧，并且其固定在所述的外壳(14)上。 | ||
| 搜索关键词： | 特别是 用于 测量 薄层 厚度 装置 探针 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量薄层厚度的装置的测量探针，其具有：包括至少一个感测器元件(17)的外壳(14)，所述的感测器元件沿所述的外壳(14)的纵轴(16)至少轻微可移动地容纳于外壳(14)；以及接触球形罩(21)，其配有至少一个感测器元件(17)以用于将所述的探针(11)放置在测量物体的表面上，其特征在于，所述的至少一个感测器元件(17)沿所述的外壳(14)的纵轴(16)由保持部件(18)容纳，所述的保持部件设计成弹性的承载弹簧，并且其固定在所述的外壳(14)上。
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