[发明专利]提升装置有效
| 申请号： | 200610171548.8 | 申请日： | 2006-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN101209809A | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 王志升 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | B66F19/00 | 分类号： | B66F19/00 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵镇勇;崔英华 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提升装置，用于移动设备部件，包括蜗杆、蜗轮，蜗轮的中心轴线处连接有丝杆，设备部件与丝杆啮合并可由丝杆带动上下移动。蜗轮与丝杆之间设有减速装置。还包括导轨和滑块，滑块与丝杆啮合并与设备部件固定连接，可由丝杆带动沿导轨滑动。蜗杆连接有转盘，转动转盘可驱动蜗轮蜗杆转动，进而带动设备部件上升和下降。结构简单、使用方便、安全可靠，主要适用于半导体硅片加工设备，也适用于其它的设备。 | ||
| 搜索关键词： | 提升 装置 | ||
【主权项】：
1.一种提升装置，用于移动设备部件，其特征在于，包括蜗杆、蜗轮，所述蜗轮的中心轴线处连接有丝杆，所述设备部件与丝杆啮合并可由丝杆带动上下移动。
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