[发明专利]显示面板的金属层的蚀刻方法有效
| 申请号： | 200610170509.6 | 申请日： | 2006-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN1970837A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 詹勋昌;卢艺;沈益民;陈怡君 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/02 | 分类号： | C23F1/02;H01L21/467 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 梁挥;徐金国 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种显示面板的金属层的蚀刻方法，包括提供一基板，此基板具有至少一显示面板区、一测试组件区以及一无组件区。接着在基板上形成一金属层，覆盖上述的显示面板区、测试组件区以及无组件区。之后再于金属层上形成一蚀刻掩模，以暴露出部分金属层，其中被蚀刻掩模所暴露出的金属层的面积实质上为金属层的总面积的70％至88％之间。之后，进行一湿式蚀刻工艺，以移除掉由蚀刻掩模所暴露出的金属层。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 面板 金属 蚀刻 方法 | ||
【主权项】：
1、一种显示面板的金属层的蚀刻方法，其特征在于，包括：提供一基板，其中该基板具有至少一显示面板区、一测试组件区以及一无组件区；在该基板上形成一金属层，以覆盖该显示面板区、该测试组件区以及该无组件区；在该金属层上形成一蚀刻掩模，以暴露出部分该金属层，其中被该蚀刻掩模所暴露出的该金属层的面积实质上为该金属层的总面积的70％至88％之间；以及进行一湿式蚀刻工艺，以移除掉由该蚀刻掩模所暴露出的该金属层。
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