[发明专利]用于显示面板的薄膜晶体管基板有效
申请号: | 200610168227.2 | 申请日: | 2006-12-26 |
公开(公告)号: | CN1992350A | 公开(公告)日: | 2007-07-04 |
发明(设计)人: | 皇甫尚佑;金时烈;梁成勋;李禹根 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L21/336;G02F1/136 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 李伟 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 一种薄膜晶体管基板,包括底基板、栅电极、栅极绝缘层、表面处理层、有源层、源电极和漏电极。栅电极形成在底基板上。栅极绝缘层形成在底基板上,以覆盖栅电极。表面处理层通过用含氮气体处理栅极绝缘层而形成在栅极绝缘层上,以防止泄漏电流。有源层形成在表面处理层上,以覆盖栅电极。彼此隔开预定距离的源电极和漏电极形成在有源层上。 | ||
搜索关键词: | 用于 显示 面板 薄膜晶体管 | ||
【主权项】:
1.一种薄膜晶体管基板,包括:底基板;栅电极,形成在所述底基板上;栅极绝缘层,形成在所述底基板上,以覆盖所述栅电极;第一表面处理层,通过用含氮气体处理所述栅极绝缘层而形成在所述栅极绝缘层上;有源层,形成在所述第一表面处理层上,以覆盖所述栅电极;以及源电极和漏电极,所述漏电极与所述源电极隔开预定距离,所述源电极和所述漏电极形成在所述有源层上。
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