[发明专利]超合金微型加热器及其制作方法无效
| 申请号： | 200610166760.5 | 申请日： | 2006-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN101203074A | 公开（公告）日： | 2008-06-18 |
| 发明（设计）人： | 康育辅 | 申请（专利权）人： | 探微科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/12 | 分类号： | H05B3/12;H05B3/20;H05K13/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明包括一种超合金微型加热器，其包含基底、设于该基底的正面的绝缘层、设于该绝缘层之上的图案化的加热电阻以及设于该加热电阻之上的接触电极，其中该加热电阻由超合金材料构成，具有耐腐蚀、高电阻、升温快以及耐高温等优点，可大幅提升该超合金微型加热器的可靠性及重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 超合金 微型 加热器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种超合金微型加热器，其包含：基底；设于该基底的正面的绝缘层；设于该绝缘层之上的包含超合金)材料的加热电阻；以及设于该加热电阻之上的接触电极。
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