[发明专利]探针卡移载辅助装置和检查设备有效
| 申请号： | 200610162999.5 | 申请日： | 2006-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN1975439A | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | 望月智秋;长坂旨俊 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R1/073;G01R31/28;G01R31/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种探针卡移载辅助装置，能够辅助电气检查装置中使用的探针卡的移载作业，包括：挂住或者吊下以保持所述探针卡的一对把手的保持部；可移动地支承所述保持部的支承部；和升降所述支承部的装置，即使对于重量较大的探针卡，也能够减轻操作者的负担，可以平稳地移载探针卡。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 卡移载 辅助 装置 检查 设备 | ||
【主权项】：
1.一种探针卡移载辅助装置，能够辅助电气检查装置中使用的探针卡的移载作业，其特征在于，包括：挂住或者吊下以保持所述探针卡的一对把手的保持部；可移动地支承所述保持部的支承部；和升降所述支承部的装置。
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