[发明专利]薄膜图案形成装置及方法无效
| 申请号： | 200610160910.1 | 申请日： | 2006-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN1979317A | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 李昌馥;孙正雄 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/136 | 分类号： | G02F1/136;C03C17/06 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜图案形成装置，包括：室壳体，具有与外界相连通的内部空间；第一固定单元，设置在室壳体中；图案电极板，具有以一定形状突出的突出电极，且固定至第一固定单元；第二固定单元，设置在室壳体中，且与图案电极板隔开一定间隙，用于固定其上沉积有涂墨的金属纳米材料的基板；供电单元，用于向第一固定单元和第二固定单元供应电力，以便在第一固定单元和第二固定单元处形成电极；以及干燥单元，用于干燥在基板上被图案化的涂墨的金属纳米材料。可以在基板上简单地形成诸如栅极线的金属薄膜线，且可以缩短处理时间。此外，简化了所需的设备，从而降低了安装成本，并提高了生产率。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 图案 形成 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜图案形成装置，包括：室壳体，其围住内部空间，且与外界相连通；第一固定单元，其设置在所述室壳体中；图案电极板，其具有以一定形状突出的突出电极，且固定至所述第一固定单元；第二固定单元，其设置在所述室壳体中，且与所述图案电极板隔开一定间隙，用于固定其上沉积有涂墨的金属纳米材料的基板；供电单元，用于向所述第一固定单元和所述第二固定单元供应电力，以便在所述第一固定单元和所述第二固定单元处形成电极；以及干燥单元，用于所述涂墨的金属纳米材料在所述基板上被图案化之后对其进行干燥。
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