[发明专利]探针卡的紧固机构以及探测装置有效
| 申请号： | 200610153449.7 | 申请日： | 2006-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN1932527A | 公开（公告）日： | 2007-03-21 |
| 发明（设计）人： | 山田浩史 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R1/067;G01R1/073;G01R31/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种紧固机构(10)，在插入环(11)的筒状部(11B)上，在圆周方向上隔开规定间隔而设置有嵌入锁环(12)的槽(12A)内的第一凸轮从动件(15)，同时，在凸缘部(11B)上，在圆周方向上隔开规定间隔而设置有接触锁环(12)的内周面的第二凸轮从动件(16)，并且，在锁环(12)上，对应第一凸轮从动件(15)而设置有第一凸轮从动件(15)通过的缺口部(12B)。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 紧固 机构 以及 探测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种探针卡的紧固机构，其特征在于，包括：具有下端与探针卡的卡支架接合的筒状部，并且具有从该筒状部的上端部扩径形成的凸缘部的插入环；以及上端部嵌入在该插入环的凸缘部的下面形成的环状槽内并且在内周面整体圆周上形成有槽的锁环，其中，在所述插入环的筒状部上，在圆周方向上隔开规定间隔至少在三处设置有嵌入所述锁环的槽内的第一辊，同时，在所述凸缘部上，在圆周方向上隔开规定间隔至少在三处设置有与所述锁环的内周面接触的第二辊，并且，在所述锁环上，对应于所述第一辊设置有所述第一辊通过的缺口部。
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