[发明专利]基板输送装置及包括该装置的基板处理装置有效
| 申请号： | 200610149954.4 | 申请日： | 2006-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN1955089A | 公开（公告）日： | 2007-05-02 |
| 发明（设计）人： | 崔万寿;金正哲;朴镐胤 | 申请（专利权）人： | 显示器生产服务株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/05 | 分类号： | B65G49/05;B65G37/00;B65G47/22 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄威;杨小蓉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基板输送装置，该输送装置包括：可滑行地安装于框架轨道上的底板；安装于上述底板的上面，并在其上面承载基板的上板；在底板上可旋转地连接上述上板的连接部件；将上述上板的旋转半径限制在一定范围内的旋转限制装置。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 装置 包括 处理 | ||
【主权项】：
1、一种基板输送装置，其特征在于：包括，可滑行地安装于框架轨道上的底板；安装于上述底板的上面，并在其上面承载基板的上板；在底板上可旋转地连接上述上板的连接部件；将上述上板的旋转半径限制在一定范围内的旋转限制装置。
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