[发明专利]多路漏液检测器有效
| 申请号： | 200610148086.8 | 申请日： | 2006-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN101210855A | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 肖叶斌 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/18 | 分类号： | G01M3/18;G01M3/40;G08B21/00;G08B3/10;G08B5/36;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多路漏液检测器，包括至少一个具有一对电极元件的漏液传感器，该多路漏液检测器还包括电源电路，至少一漏液检测单元，利用一对探测元件连接至漏液传感器以获取电极元件间的输入阻抗并产生一检测信号，该检测信号经过放大后输入比较电路，经过与一参考电压比较，输出一比较电压至报警电路，当比较电压为正值时，由报警电路驱动一报警器报警。当多路漏液检测器设有多个漏液检测单元时，它们会检测到每一路制程设备上的各种液体的泄漏情况并发出报警，时间响应迅速，报警指示灯会区分泄漏点的位置，操作人员或值班人员能很容易找到泄漏点。 | ||
| 搜索关键词： | 多路漏液 检测器 | ||
【主权项】：
1.一种多路漏液检测器，包括至少一个漏液传感器，所述的漏液传感器具有一对电极元件，其特征在于，所述的多路漏液检测器还包括：电源电路，用于向后级电路提供输入电压；至少一个漏液检测单元，其包括一检测电路和一放大电路，该检测电路通过一对探测元件连接至所述的漏液传感器，以获取漏液传感器的一对电极元件间的输入阻抗，并产生一检测信号，该放大电路与所述检测电路连接，放大并输出所述检测信号；比较电路，分别与漏液检测单元的放大电路以及一参考电压连接，通过将放大电路输出的检测信号与参考电压比较，输出一比较电压；以及报警电路，与所述比较电路连接，当所述比较电压为正值时，驱动一报警器报警。
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