[发明专利]数字电子剪切散斑干涉仪

摘要

本发明公开一种数字电子剪切散斑干涉仪，包括一激光器、一扩束机构、一剪切镜、一剪切镜驱动机构、一偏振片、一数字化成像装置以及一计算机，其中剪切镜可更换为大剪切镜或小剪切镜；剪切镜驱动机构包括一水平位移装置和一垂直位移装置，其分别通过步进电机驱动，使剪切镜及偏振片沿平行和垂直于反射光束的方向移动，步进电机转动受所述计算机输出的脉冲控制。本发明的数字电子剪切散斑干涉仪实现了大、小电子散斑干涉仪一体化，并且具有自动化时空相移、高灵敏度、数字化等优点。

主权项

1.一种数字电子剪切散斑干涉仪，包括一激光器、一扩束机构、一剪切镜、一剪切镜驱动机构、一偏振片、一数字化成像装置以及一计算机，扩束机构位于激光器出射光束的光路上，剪切镜位于从被测物体表面反射的光束的光路上，剪切镜驱动机构与所述剪切镜相连并驱动剪切镜沿垂直于和平行于反射光束的方向位移，偏振片设置于从剪切镜出射的光束的光路上，数字化成像装置位于成像平面处，计算机与数字化成像装置连接；其特征在于，所述剪切镜为大剪切镜或小剪切镜；所述剪切镜驱动机构包括一水平位移装置和一垂直位移装置，所述水平位移装置包括水平位移台、第一步进电机以及第一控制器，所述水平位移台承载所述剪切镜和偏振片，所述第一步进电机驱动剪切镜和偏振片沿平行于反射光束方向位移，所述第一控制器与第一步进电机电连接；所述垂直位移装置包括垂直位移台、第二步进电机以及第二控制器，所述垂直位移台垂直于水平面设置且与所述水平位移台相连，所述第二步进电机驱动水平位移台沿垂直于反射光束方向位移，所述第二控制器与第二步进电机电连接；所述第一控制器和第二控制器分别连接到所述计算机。