[发明专利]具有晒版器件的激光诱导热成像装置有效
| 申请号： | 200610146554.8 | 申请日： | 2006-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN1966279A | 公开（公告）日： | 2007-05-23 |
| 发明（设计）人： | 鲁硕原;金茂显;成镇旭;李相奉;金善浩 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | B41M5/382 | 分类号： | B41M5/382;H01L51/00;H01L51/56;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人： | 韩明星;韩素云 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光诱导热成像(LITI)装置及使用该LITI装置制造电子器件的方法。LITI装置包括腔体、基底支撑件、晒版器件和激光源或振荡器。LITI装置将可转印层从膜供体器件转印到中间电子器件的表面上。LITI装置利用磁力来提供可转印层和中间器件表面之间的紧密接触。在LITI装置的彼此分隔地置于可转印层和中间器件表面之间的两个组件中形成的磁性材料产生磁力。磁体或磁性材料形成在下面的LITI装置的两个组件中：1)中间器件和膜供体器件；2)中间器件和晒版器件；3)基底支撑件和膜供体器件；4)基底支撑件和晒版器件。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 器件 激光 诱导 成像 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用于激光诱导热成像的装置，包括：基底支撑件，构造成支撑中间电子器件和膜供体器件；激光源；晒版器件，位于所述基底支撑件和所述激光源之间，所述晒版器件在第一位置和第二位置之间相对于所述基底支撑件是可移动的，所述第一位置距离所述基底支撑件第一距离，所述第二位置距离所述基底支撑件第二距离，所述第二距离大于所述第一距离，所述晒版器件被构造成在所述第一位置附近将所述膜供体器件压向所述中间器件，所述晒版器件包含从由永磁体和电磁体组成的组中选择的至少一种磁性材料。
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