[发明专利]基于激光自混合干涉的微小角度测量方法及装置无效
| 申请号： | 200610123674.6 | 申请日： | 2006-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN1963384A | 公开（公告）日： | 2007-05-16 |
| 发明（设计）人： | 钟金钢;琚志祥 | 申请（专利权）人： | 暨南大学 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01D5/26 |
| 代理公司： | 广州粤高专利代理有限公司 | 代理人： | 何淑珍 |
| 地址： | 510632广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及基于激光自混合干涉的微小角度测量方法及装置，将激光器输出的激光束入射到设置于被测物体表面的反射镜，入射线偏离被测物体的角度旋转中心，激光器的输出功率用一光电探测器进行监测，当被测物体发生微小角度旋转时，光电探测器监测到的激光器输出功率将随着角度的变化而变化，角度的变化引起的回馈光的光程每变化半个激光波长，输出激光功率变化一个条纹周期，通过预先定标好的角度和输出功率间的对应关系，来实现对被测物体旋转角度的测量。该测量装置结构简单、紧凑，测量精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 激光 混合 干涉 微小 角度 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种基于激光自混合干涉的微小角度测量方法，其特征在于在被测物体(4)表面设置一反射镜(3)，激光器(1)输出的激光束通过光阑(2)垂直入射到反射镜(3)上，入射线偏离被测物体(4)的角度旋转中心，激光束经反射镜(3)反射回激光器(1)中，引起激光自混合干涉，激光器(1)的输出功率用一光电探测器(5)进行监测，当被测物体(4)发生微小角度旋转时，光电探测器(5)监测到的激光器(1)的输出功率将随着角度的变化而变化，角度的变化引起的回馈光的光程每变化半个激光波长，激光器(1)的输出功率变化一个条纹周期，通过预先定标好的角度和输出功率间的对应关系，实现对被测物体(4)微小旋转角度的测量。
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