[发明专利]排气装置的控制阀、排气装置和排气方法无效
| 申请号： | 200610118780.5 | 申请日： | 2006-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN101191564A | 公开（公告）日： | 2008-06-04 |
| 发明（设计）人： | 张骥 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | F16K17/00 | 分类号： | F16K17/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王素萍 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种排气装置的控制阀，该控制阀(1)内设有腔体(10)，该腔体(10)包括：在腔体(10)内设置具有弹性伸缩的波纹管(11)、与波纹管(11)固定连接并一起弹性伸缩的密封盖(12)、与密封盖(12)相通的进气腔体(13)、以及在波纹管(11)和密封盖(12)垂直方向上设置并且相互连通的排气腔体(14)。本发明还公开了一种具有上述控制阀结构的排气装置。另外，本发明还进一步公开了一种用于上述排气装置的排气方法。本发明可应用于具有排气装置的设备，尤其用于半导体器件制造业。 | ||
| 搜索关键词： | 排气装置 控制 排气 方法 | ||
【主权项】：
1.一种排气装置的控制阀，包括腔体(10)，其特征在于，所述腔体(10)具有设在腔体(10)内的一端且可弹性伸缩的波纹管(11)、与所述波纹管(11)固定连接并且一起作弹性伸缩的密封盖(12)、与所述密封盖(12)的端面相通的进气腔体(13)、以及在所述波纹管(11)和所述密封盖(12)的长度方向垂直设置并且相互连通的排气腔体(14)。
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