[发明专利]一种扫描探针声学显微成像用低频、收发两用型传感器有效
| 申请号： | 200610117703.8 | 申请日： | 2006-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN1963450A | 公开（公告）日： | 2007-05-16 |
| 发明（设计）人： | 殷庆瑞;余寒峰;惠森兴;赵坤宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | G01N13/10 | 分类号： | G01N13/10;G01N29/24 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种扫描探针声学显微成像用低频、高灵敏度、收发两用型传感器。所述的传感器是由高灵敏的机电能量敏感元件、相关机械结构组成。所述的传感器工作频率范围：2－30kHz，比通常的声学成像模式工作频率(几百kHz－几十MHz)低1－3个数量级，它基于扫描探针声学显微镜(SPAM)的低频高分辨率的工作模式，用该探测器使成像系统分辨率可达到5nm，图像清晰，对比度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 探针 声学 显微 成像 低频 收发 两用 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种用于扫描探针声学显微成像的低频、收发两用传感器，其特征在于它基于低频高分辨的工作模式，所述的传感器是由高灵敏度传感元件、弹性元件、耦合增强元件，激励电源接口、传感器盖、壳体及绝缘体构成，其中：(1)敏感元件选用收发兼用的高机电耦合系数材料或高压电系数的材料；(2)传感器盖和壳体采用精细螺距螺纹连接；(3)激励电源K通过接口提供幅度和频率连续可精细调节的主输出及其同步信号，幅度为+10V--10V，信号源的工作频率5-100kHz；(4)敏感元件放置在耦合增强元件上，弹性元件放在耦合增强元件下面，敏感元件、耦合增强元件和弹性元件依次放在壳体内通过绝缘体与壳体绝缘。
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