[发明专利]一种扫描探针声学显微成像用低频、收发两用型传感器有效
| 申请号： | 200610117703.8 | 申请日： | 2006-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN1963450A | 公开（公告）日： | 2007-05-16 |
| 发明（设计）人： | 殷庆瑞;余寒峰;惠森兴;赵坤宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | G01N13/10 | 分类号： | G01N13/10;G01N29/24 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 探针 声学 显微 成像 低频 收发 两用 传感器 | ||
【权利要求书】：
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