[发明专利]光电差分测量系统和测量方法有效
| 申请号： | 200610117401.0 | 申请日： | 2006-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN1971425A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 关俊;李小平;李志丹;田湍 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光电差分测量系统，包括波段不同的一个窄带光光源和一个宽带光光源，用于耦合光束的耦合系统，第一成像系统，波长分束器，被测的两个表面，波长合束器，第二成像系统，能量分束器，用于位置粗测的位置敏感传感器，放大系统和用于位置精测的位置敏感传感器。本发明实现了两个平面相对位置的高精度和高稳定性测量。 | ||
| 搜索关键词： | 光电 测量 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
1、一种光电差分测量系统，其特征在于按照入射光的传播方向包括：波段不同的一个窄带光光源和一个宽带光光源，用于耦合光束的耦合系统，第一成像系统，波长分束器，被测的两个表面，波长合束器，第二成像系统，能量分束器，用于位置粗测的位置敏感传感器，放大系统和用于位置精测的位置敏感传感器。
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