[发明专利]探针卡测试系统无效
| 申请号： | 200610117120.5 | 申请日： | 2006-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN101162240A | 公开（公告）日： | 2008-04-16 |
| 发明（设计）人： | 桑浚之;曾志敏 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R1/067;G01R31/00;G01R31/28;G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种探针卡测试系统，实现不受测试通道资源限制的多个DUT并列配置，其中，M个DUT对应的探针共享N个测试通道资源，每个DUT配置J根探针，所述探针与所述测试通道资源通过M＊J个可控开关连接，所述开关通过编程切换，实现M个DUT对应的探针对N个测试资源通道的分时复用。本发明在自动测试设备资源有限的条件下，减少探针卡的相对移动时间，提高测试效率，并减少探针与测试垫的接触次数，避免针尖污染的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 测试 系统 | ||
【主权项】：
1.一种探针卡测试系统，其特征在于：不受测试通道资源限制实现多个DUT并列配置，其中，M个DUT对应的探针共享N个测试通道资源，每个DUT对应J根探针，所述探针与所述测试通道资源通过M*J个可控开关连接。
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