[发明专利]基于空间扫描的对准信号采样同步控制方法

摘要

本发明公开了一种基于空间扫描的对准信号采样同步控制方法，其对透射式垂直图形光栅进行正反对角线方向的扫描，并对扫描获得的信号进行高阶多项式逼近，得到正反方向扫描过程中最大光强时对应的两个位置，并用这两个位置差进行光强信号采样触发和位置信号采样触发的同步校准。该方法实现了光强信号与位置信号的精密同步测量，保证了对对准扫描的光强信号与位置信号测量的高精度同步控制。

主权项

1.一种基于空间扫描的对准信号采样同步控制方法，其特征在于包括以下步骤：1)启动对准信号采样同步校准控制，输入对准扫描的参数；2)利用对准空间扫描装置进行对准扫描，采集每个采样点处的光强信号和位置信号；3)使用逼近模型逼近采集到的光强信号，得到实际的逼近模型参数，然后计算重相关值MCV；4)判断重相关值MCV是否大于等于重相关值基准MCVth，当MCV≥MCVth时，认为所得到的逼近模型参数满足要求，则转至下一步，否则转向第1)步，重新设置参数，重新采集对准信号，再次做模型逼近；5)用已经得到的满足要求的正反向对准扫描逼近模型参数分别计算正反向对准扫描中的两个最大光强处的对应位置Pmax +和Pmax -；6)用两个最大光强处的对应位置Pmax +和Pmax -计算同步延迟偏差Δt；7)用同步延迟偏差Δt调整位置信号和光强信号采样触发的时序，若Δt＞0，则位置采样触发相对超前了光强采样，将位置采样触发延迟Δt，反之，则位置采样触发相对滞后了光强采样，将位置采样触发提前Δt，至此整个对准信号采样同步校准控制过程结束。