[发明专利]连接装置有效
| 申请号： | 200610112711.3 | 申请日： | 2006-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN101135333A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 管长乐 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | F16B13/06 | 分类号： | F16B13/06;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵镇勇;王连军 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明所述的连接装置用于实现窗体与喷嘴组件的连接，所述的连接装置包括胀紧机构，胀紧机构设于窗体与喷嘴组件间，使窗体与喷嘴组件具有相对轴向运动的趋势，通过轴向胀紧的方式将窗体与喷嘴组件连接，将喷嘴组件安装于窗体上，并且在窗体与喷嘴组件的接触面设有密封件；实现窗体与喷嘴组件间的良好密封。实现电感耦合等离子体装置中的喷嘴组件与不适合螺栓等方式连接的绝缘窗体的连接，并可实现较好的密封，且结构简单，使用操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 连接 装置 | ||
【主权项】：
1.一种连接装置，用于实现两个组件间的连接，其特征在于，包括胀紧机构，胀紧机构设于两个组件间，使两个组件具有相对轴向运动的趋势，通过轴向胀紧的方式将两个组件对接，实现连接。
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