[发明专利]一种三角形结构的微悬臂梁传感器及其制作方法无效
| 申请号： | 200610112552.7 | 申请日： | 2006-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN101131354A | 公开（公告）日： | 2008-02-27 |
| 发明（设计）人： | 黄钦文;陈大鹏;欧毅;叶甜春;张春川;李凯 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三角形结构的微悬臂梁传感器，该传感器包括：用于支撑悬臂梁的衬底框架；至少一个固定于衬底框架上的悬臂梁结构；固定在构成所述悬臂梁结构的两个悬臂梁交叉成锐角端的反光板。本发明同时公开了一种三角形结构微悬臂梁传感器的制作方法。利用本发明，提高了测量的精度，在使用光学读出的系统中，使测量结果更加精确，并提高了成品率，易于实现大规模生产；在生物化学量的测量中，特别是在液体环境下的测量，可以得到广泛的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三角形 结构 悬臂梁 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种三角形结构的微悬臂梁传感器，其特征在于，该传感器包括：用于支撑悬臂梁的衬底框架；至少一个固定于衬底框架上的悬臂梁结构；固定在构成所述悬臂梁结构的两个悬臂梁交叉成锐角端的反光板。
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